ការពិពណ៌នាអំពីឧស្ម័ន
ស្ពាន់ធ័រ hexafluoride គឺជាឧស្ម័នដែលមានស្ថេរភាពគ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន គ្មានជាតិពុល និងមិនងាយឆេះ។ រូបមន្តគីមីរបស់វា SF ₆ មានទម្ងន់ម៉ូលេគុល 146.07 និងដង់ស៊ីតេ 6.1kg/m3 នៅ 20 ℃ និង 0.1 MPa ដែលប្រហែល 5 ដងនៃដង់ស៊ីតេខ្យល់។ ស្ពាន់ធ័រ hexafluoride ស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពឧស្ម័ននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់និងសម្ពាធដោយមានសីតុណ្ហភាពសំខាន់នៃ 45.6 ℃ សីតុណ្ហភាពបីចំណុចនៃ -50.8 ℃ និងសីតុណ្ហភាពចំណុច sublimation នៃ -63.8 ℃ នៅសម្ពាធបរិយាកាស។ រចនាសម្ព័ន្ធម៉ូលេគុលនៃស្ពាន់ធ័រ hexafluoride ត្រូវបានរៀបចំជារាង octahedral ជាមួយនឹងចម្ងាយនៃការភ្ជាប់តូចមួយ និងថាមពលនៃការផ្សារភ្ជាប់ខ្ពស់។ ដូច្នេះស្ថេរភាពរបស់វាគឺខ្ពស់ណាស់។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពមិនលើសពី 180 ℃ ភាពឆបគ្នារបស់វាជាមួយនឹងសម្ភារៈរចនាសម្ព័ន្ធអគ្គិសនីគឺស្រដៀងទៅនឹងឧស្ម័នអាសូត។
ការប្រើប្រាស់ចម្បងនៃស្ពាន់ធ័រ hexafluoride
1. ជំនាន់ថ្មីនៃសមា្ភារៈអ៊ីសូឡង់តង់ស្យុងខ្ពស់ជ្រុល។ ក្នុងនាមជាអ៊ីសូឡង់ឧស្ម័នដ៏ល្អវាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់អ៊ីសូឡង់ឧស្ម័ននៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកនិងអគ្គិសនី។ អេឡិចត្រិចស្ពាន់ធ័រ hexafluoride ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ថ្នាក់ទី គឺជាសារធាតុអេឡិចត្រូនិចដ៏ល្អមួយដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិស័យមីក្រូអេឡិចត្រូនិច ក្នុងនាមជាភ្នាក់ងារសម្អាត និងសម្អាតប្លាស្មាក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាធំដូចជាបន្ទះសៀគ្វីកុំព្យូទ័រ និងអេក្រង់ LCD ។ ប្រើជាប្រភពហ្វ្លុយអូរីនក្នុងការផលិតកញ្ចក់ fluorine doped ក្នុងការរៀបចំជាតិសរសៃអុបទិក និងជាសារធាតុ dopant នៅក្នុងស្រទាប់ឯកោក្នុងការផលិតសរសៃប្រភេទទោលដែលមានគុណភាពទាបដែលបាត់បង់។ វាក៏អាចត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័ន doping សម្រាប់ឡាស៊ែរ excimer អាសូត។ ប្រើជាឧបករណ៍តាមដាន ឧស្ម័នស្តង់ដារ ឬល្បាយស្តង់ដារដែលបានរៀបចំនៅក្នុងឧតុនិយម ការត្រួតពិនិត្យបរិស្ថាន និងនាយកដ្ឋានផ្សេងៗទៀត។ ត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់សម្រាប់ការពន្លត់ធ្នូនិងឧបករណ៍បំលែងដែលមានសមត្ថភាពខ្ពស់នៅក្នុងកុងតាក់វ៉ុលខ្ពស់។ វាក៏អាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧបករណ៍បង្កើនល្បឿនភាគល្អិត និងឧបករណ៍ចាប់រន្ទះផងដែរ។ ដោយសារតែស្ថេរភាពគីមីដ៏ល្អរបស់វា និងមិន corrosion ទៅនឹងឧបករណ៍ វាអាចប្រើជាទូរទឹកកកនៅក្នុងឧស្សាហកម្មទូរទឹកកក (សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការរវាង -45 ~ 0 ℃) ។ ដោយសារតែមានការព្រួយបារម្ភអំពី α ភាគល្អិតមានសមត្ថភាពបញ្ឈប់ខ្ពស់ ហើយក៏ត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងគីមីវិទ្យាផងដែរ។ លើសពីនេះ វាក៏ដើរតួនាទីជាសារធាតុប្រឆាំង adsorbent ដើម្បីជំនួសអុកស៊ីសែនពីធូលីធ្យូងថ្មអណ្តូងរ៉ែ។
2. វាអាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដំណើរការរលាយ និងដំណើរការនៃលោហធាតុដែលមិនមានជាតិដែក ក៏ដូចជាសម្រាប់ degassing និងបន្សុទ្ធអាលុយមីញ៉ូមរលាយ និងយ៉ាន់ស្ព័ររបស់វា។ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច ស្ពាន់ធ័រ hexafluoride អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីឆ្លាក់លើផ្ទៃស៊ីលីកុន និងយកខ្សែភាពយន្តសរីរាង្គ ឬអសរីរាង្គ ដូចជាសារធាតុចេញពីវត្ថុធាតុ semiconductor ។ វាក៏អាចត្រូវបានប្រើជាភ្នាក់ងារ doping សម្រាប់ស្រទាប់ឯកោនៃជាតិសរសៃហ្វីលតែមួយនៅក្នុងដំណើរការផលិតសរសៃអុបទិក។ ឧបករណ៍រំខានបច្ចុប្បន្នជាមួយស៊ុលហ្វួ hexafluoride មានវ៉ុលវាយតម្លៃខ្ពស់ ហើយមិនងាយឆេះទេ។ លើសពីនេះទៀត sulfur hexafluoride ក៏ត្រូវបានគេប្រើជាឧបករណ៍ផ្ទុកអ៊ីសូឡង់សម្រាប់ឧបករណ៍បង្កើនល្បឿនផ្សេងៗ ឧបករណ៍ផ្ទុកតង់ស្យុងខ្ពស់ ខ្សែ coaxial និងការបញ្ជូនមីក្រូវ៉េវ។ នាពេលបច្ចុប្បន្ន ស្ពាន់ធ័រ hexafluoride គឺជាឧបករណ៍តាមដានដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់វាស់ស្ទង់ការបំពុលបរិយាកាស ជាមួយនឹងចម្ងាយតាមដានរហូតដល់ 100 គីឡូម៉ែត្រ។ ស្ពាន់ធ័រ hexafluoride មានស្ថេរភាពគីមីល្អនិងមិនរលួយឧបករណ៍។ វាអាចត្រូវបានប្រើជាទូរទឹកកកនៅក្នុងឧស្សាហកម្មទូរទឹកកក (សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការរវាង -45 ~ 0 ℃) ដើម្បីជំនួស Freon ។ វាមិនមានឥទ្ធិពលបំផ្លិចបំផ្លាញលើស្រទាប់អូហ្សូន និងបំពេញតាមតម្រូវការនៃការការពារបរិស្ថាន និងការអនុវត្ត។ វាជាទូរទឹកកកដែលមានសក្តានុពលអភិវឌ្ឍន៍ខ្លាំង។ ប្រើជាឧបករណ៍ផ្ទុកអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី និងភ្នាក់ងារពន្លត់ធ្នូ ជាឧបករណ៍តាមដានសម្រាប់វាស់កម្រិតនៃការបំពុលបរិយាកាស។
3. ប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការពន្លត់ធ្នូនៅក្នុងកុងតាក់តង់ស្យុងខ្ពស់ និងជាសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់នៅក្នុងឧបករណ៍បំលែងដែលមានសមត្ថភាពធំ និងខ្សែតង់ស្យុងខ្ពស់។ វាអាចត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់សម្រាប់ឧស្ម័ននៅក្នុងឧបករណ៍បង្កើនល្បឿនភាគល្អិតនុយក្លេអ៊ែរ និងឧបករណ៍ចាប់រន្ទះ។ SF6 មានស្ថេរភាពគីមីល្អ និងមិនច្រេះដល់ឧបករណ៍។ វាអាចត្រូវបានប្រើជាទូរទឹកកកនៅក្នុងឧស្សាហកម្មទូរទឹកកក (សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការរវាង -45 ~ 0 ℃), SF6 គូ α- ភាគល្អិតមានសមត្ថភាពបញ្ឈប់ខ្ពស់ដូច្នេះពួកគេក៏ត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងគីមីវិទ្យាវិទ្យុសកម្ម; វាក៏អាចត្រូវបានប្រើជា adsorbent ដើម្បីជំនួសអុកស៊ីសែនពីធូលីធ្យូងថ្មអណ្តូងរ៉ែ។
4. ប្រើជាអ៊ីសូឡង់ឧស្ម័នសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងឧបករណ៍រលករ៉ាដា។
