ការពិពណ៌នាអំពីឧស្ម័ន
Tetrafluorocarbon ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា tetrafluoromethane ។ ឧស្ម័នគ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន និងគ្មានក្លិន។ មិនរលាយក្នុងទឹក 0.0015 នៅ 25 ℃ នៅក្រោមសម្ពាធធម្មតា រលាយក្នុង chloroform និង benzene ។ ផលិតផលនេះគឺមិនពុលនិងមិនងាយឆេះ។ នៅកំហាប់ខ្ពស់វាមានប្រសិទ្ធិភាពថ្នាំស្ពឹក។ ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងល្បាយរបស់វាជាមួយអុកស៊ីហ្សែនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ បច្ចុប្បន្នគឺជាឧស្ម័នផ្លាស្មាដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ សៀវភៅគីមីក៏អាចប្រើជាឧបករណ៍ផ្ទុកកំដៅ និងអ៊ីសូឡង់កំដៅទាបផងដែរ។ ស្ថេរភាពគីមី និងកម្ដៅល្អ និចលភាពចំពោះសារធាតុជាច្រើន មិន hydrolyzed នៅ 1000 ℃។ វាមិនមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងទង់ដែង នីកែល និង tungsten នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ ដោយសារស្ថេរភាពគីមីដ៏រឹងមាំនៃចំណង CF សារធាតុ perfluorocarbons ដែលតំណាងដោយ CF4 អាចត្រូវបានចាត់ទុកថាមិនមានជាតិពុល។
ការប្រើប្រាស់ចម្បង
កាបូន tetrafluoride បច្ចុប្បន្នគឺជាឧស្ម័នផ្លាស្មាដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់ការឆ្លាក់សារធាតុហ្វីលស្តើងដូចជា ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត ស៊ីលីកុននីត្រាត កញ្ចក់ផូស្វ័រស៊ីលីត និងតង់ស្តែន។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការសម្អាតផ្ទៃនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ ទូរទឹកកកសីតុណ្ហភាពទាប អ៊ីសូឡង់ឧស្ម័ន ភ្នាក់ងាររកឃើញលេចធ្លាយ ការគ្រប់គ្រងអាកប្បកិរិយារបស់រ៉ុក្កែតអវកាស ភ្នាក់ងារសម្អាត ប្រេងរំអិល និងសារធាតុរាវហ្វ្រាំងក្នុងការផលិតសៀគ្វីបោះពុម្ព។ . ដោយសារតែស្ថេរភាពគីមីដ៏រឹងមាំរបស់វា CF4 ក៏អាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្មដូចជាការរលាយលោហៈ និងផ្លាស្ទិច។
ការផ្ទុកនិងការប្រុងប្រយ័ត្ន
ទុកក្នុងឃ្លាំងដែលត្រជាក់ និងមានខ្យល់ចេញចូលដែលមិនងាយឆេះ។ នៅឱ្យឆ្ងាយពីផ្កាភ្លើង និងប្រភពកំដៅ។ សីតុណ្ហាភាពផ្ទុកមិនគួរលើសពី 30 ℃។ វាគួរតែត្រូវបានរក្សាទុកដាច់ដោយឡែកពីវត្ថុធាតុដើមដែលអាចឆេះបាន និងសារធាតុអុកស៊ីតកម្ម ហើយការផ្ទុកចម្រុះគួរតែត្រូវបានជៀសវាង។ កន្លែងផ្ទុកគួរតែត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៍ឆ្លើយតបបន្ទាន់សម្រាប់ការលេចធ្លាយ។
