អេទីលស៊ីលីន

ការណែនាំអំពីឧស្ម័ន

Ethylsilane គឺជាសមាសធាតុអសរីរាង្គដែលមានរូបមន្តគីមី Si2H6 ។ វាគឺជាឧស្ម័នដែលគ្មានពណ៌ គ្មានតម្លាភាព និងសារធាតុពុល ជាមួយនឹងក្លិនមិនល្អ និងឆាប់ខឹងនៅសីតុណ្ហភាព និងសម្ពាធក្នុងបន្ទប់។ វាមានលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីស្រដៀងទៅនឹង silane ប៉ុន្តែប្រតិកម្មរបស់វាគឺខ្លាំងជាង silane ។ វាមិនស្ថិតស្ថេរជាង silane និង decomposes បន្តិចម្តងចូលទៅក្នុង silane និង hydrogen នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ Decompose ចូលទៅក្នុង SiH4, SinHm, H2 នៅ 300-500 ℃, និង decompose នៅក្រោមពន្លឺផងដែរ។ ប្រើជាចម្បងនៅក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ បំពង់រ៉ូតារីដែលបញ្ចេញពន្លឺ ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុន អាម៉ូហ្វូស ការលូតលាស់នៃអេពីតាស៊ីល ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីត ខ្សែភាពយន្តនីទ្រីត ការបញ្ចេញចំហាយគីមី និងទិដ្ឋភាពផ្សេងៗទៀត។

លក្ខណៈសម្បត្តិមូលដ្ឋាន

Ethylsilane គឺជាអង្គធាតុរាវថ្លាគ្មានពណ៌ ដែលបញ្ឆេះដោយឯកឯងក្នុងខ្យល់ ដោយមានចំណុចបញ្ឆេះក្រោមសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ នៅពេលដែលវាជួបនឹងខ្យល់ វានឹងឆេះភ្លាមៗ ហើយរលាយចូលទៅក្នុង SiH4 និង H2។ ជួរកំហាប់ចំហេះគឺធំទូលាយ ហើយនៅពេលដែលកំហាប់លើសពី 0.2% អណ្តាតភ្លើងត្រូវបានបញ្ចេញកំឡុងពេលចំហេះ។ នៅពេលដែលកំហាប់ទាបជាង 0.2% ប្រតិកម្មអុកស៊ីតកម្មត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីបង្កើត SiO2 ពណ៌ស។ ការផ្ទុះឆេះនៅក្នុងឧស្ម័នក្លរីន។ ប្រតិកម្មផ្ទុះជាមួយឧស្ម័ន halogen ប៉ុន្តែប្រសិនបើនៅសីតុណ្ហភាពទាប អនុវត្ត halogenation ក្នុងកម្រិតមធ្យម។ ប្រសិនបើមានទំនាក់ទំនងជាមួយ SF6 វានឹងផ្ទុះ។ ប្រតិកម្មខ្លាំងជាមួយកាបូន tetrachloride និង chloroform ។ ប្រតិកម្ម និងរលួយជាមួយលោហធាតុអាល់កាឡាំង និងយ៉ាន់ស្ព័របារត ដើម្បីផលិតស៊ីលីន និងអ៊ីដ្រូសែន។ ប្រតិកម្មជាមួយប៉ូតាស្យូម caustic ដើម្បីដោះលែង H2 ។ វា​មិន​មាន​ប្រតិកម្ម​ជាមួយ​ទឹក​សុទ្ធ​និង​អាស៊ីត​ទេ ប៉ុន្តែ​មាន​ប្រតិកម្ម​ជាមួយ​អាល់កាឡាំង​ដើម្បី​ផលិត​សារធាតុ silicates និង​អ៊ីដ្រូសែន។ សូម្បី​តែ​វត្តមាន​នៃ​បរិមាណ​អាល់កាឡាំង​ដែល​រលាយ​ចេញ​ពី​កញ្ចក់​ក៏​អាច​បង្ក​ឱ្យ​មាន​អ៊ីដ្រូលីស​អេតាន​ដែរ។ នៅក្នុងវត្តមាននៃភាពមិនបរិសុទ្ធ KH ឬ LiCl វារលាយបន្តិចម្តងៗនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។

Si2H6- → SiH4+ (SiH2) x

Ethylsilane គឺរលាយក្នុងកាបូន disulfide ជាតិអាល់កុល ethyl benzene និងអាស៊ីត ethyl silicic ។ វា corrodes កៅស៊ូ, ប៊ឺ, ប្រេងរំអិល, សំណ, ល, ប៉ុន្តែមិន corrode លោហៈភាគច្រើន។

ការប្រើប្រាស់ចម្បង

1. ប្រើក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ បំពង់រ៉ូតារីដែលបញ្ចេញពន្លឺ ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុន amorphous ការលូតលាស់ epitaxial ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីត ខ្សែភាពយន្ត nitride ការបញ្ចេញចំហាយគីមី និងវាលផ្សេងៗទៀត។ នៅក្នុងការផលិតកោសិកាថាមពលព្រះអាទិត្យ អត្រានៃការបញ្ចេញសារធាតុ ethylene silane នៅលើ amorphous silicon wafers គឺលឿនជាង silane ហើយសីតុណ្ហភាពអាចកាត់បន្ថយបានពី 200-300 ℃។ ក្នុងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ការប្រើប្រាស់អេតានជាប្រភពអ៊ីយ៉ុងទំនងជាបញ្ចេញពន្លឺ និងមានចរន្តធ្នឹមខ្លាំងជាង ដែលនាំឱ្យទទួលបានលទ្ធផលល្អប្រសើរជាងការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នផ្សេងទៀតជាប្រភពអ៊ីយ៉ុង។

2. នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា semiconductor វាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដំណើរការ epitaxial និង diffusion ក៏ដូចជាសម្រាប់ photosensitive drums ដែលប្រើក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងការថតរូបអេឡិចត្រូនិច។